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等離子體質量和能量分析儀

簡要描述:Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀是一臺結合質量和能量分析的儀器(Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics),用于分析等離子過程中陰、陽離子、中性粒子以及自由基。

  • 產品型號:EQP
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-09-03
  • 訪  問  量:1897
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詳細介紹
品牌其他品牌價格區間面議
產地類別進口應用領域綜合

Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀應用:

· 刻蝕 / 沉積作用研究
· 離子植入 / 激光燒蝕
· 殘余氣體分析 / 泄漏檢測
· 等離子體電極耦合,即在操作中遵從電極設定條件
· 通過視口、接地電極和驅動電極進行分析

Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀特點:

· 軟件控制的離子汲取光學系統,以使等離子體擾動z小
· 45°靜電扇區分析器,掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
· 所有能量范圍內,離子行程的z小擾動,及恒定離子傳輸
· 帶差式泵的三級過濾四極桿,質量數范圍至2500amu
· 高靈敏度 / 穩定的脈沖離子計數檢測器,有7個數量級的動態范圍
· 可調諧的離子源,用于電子附著選件的表觀電勢質譜分析
· Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
· 信號選通分辨率1μs,用于研究脈沖等離子體或能量、質量分布隨時間的變化
· 1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
· Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
· 通過RS232、RS485或Ethernet LAN,控制軟件MASsoft。 

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